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如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量?
更新时间:2021-02-05 点击次数:1138次

如何克服因地面振动影响光刻系统的图案质量

振动对高级浸没式光刻的影响

没有使用STACIS®

在原基座的弹性体或刚性版本上获得jia模式

使用STACIS®

STACIS主动隔振实现的模式

所示的45纳米线宽测试图形是由Amphibian Systems公司生产的*浸入式光刻系统生产的,安装在德克萨斯州*的SEMATECH公司。图像之间的差异是由于地震振动对光刻过程的影响。所显示的图像是使用扫描电子显微镜获得的。

该工具初安装在钢和混凝土基座上,基座采用钢支撑结构,其中包含商业弹性体隔振垫。这个基座没有达到工具要求的振动标准,模式质量很差。

为了减少振动,弹性体垫块被有效地用金属垫片短路,从而导致更刚性、非共振结构,但这几乎没有改善。振动标准不符合任何版本的基座和模式,质量仍然很差。

基座支撑结构被移除,并安装了STACIS®主动压电消振系统STACIS基座被直接放置在现有的底座下面。将工具支撑在STACIS上,显著降低了整体地震振动水平,并达到了制造商的地面振动规范。更重要的是,STACIS在模式质量方面提供了显著的改进。

不同配置的振动测量。工具规格:0.125 mils /s RMS。垂直轴数据显示。

绿色:弹性体减振

白色:短路弹性体减振

蓝色:STACIS减振

*Sematech提供的照片、图像和振动数据。

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TMC是阿美特克超精密测量部门成员,阿美特克是电子仪器和机电设备的突出者,年销售额约为50亿美金。为材料分析、超精密测量、过程分析、测试测量与通讯、电力系统与仪器、仪表与使用控制、精密运动控制、电子元器件与封装、特种金属产品等领域提供技术解决方案。

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